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| 发布日期：2012-10-29 22:59 作者：lei yan 字号: 大 中 小 浏览次数：：1,331 次 |
直线编码器
随着微阵列相关操作越来越精密，保持20微米级别的重复精度变得越来越重要。线性执行机构的重复精度可以通过多种方法来提高。其中，用于步进电机上的微步细分方法，是将步进电机的每一步细分成若干微步。微步细分和滚珠丝杠都可以实现±10微米的重复精度。另外一种方式是使用直线编码器。
直线编码器是一种测量工具，沿运动轴向布置以提高重复精度。直线编码器通常用来测量步幅，是包含类似于条形码的反射金膜的黏性带。
直线编码器黏性带通过可将反射光返回到感光器的发光二极管(LED)等光源读取。利用这样一把“微尺”作为测量工具，编码器可以将直线位置信息转化为电信号并输出。用光束作为测量工具的直线编码器成为光编码器。许多测量步长为0.001～1微米系列的直线编码器可以在不降低微阵列制备速度的情况下，实现重复定位精度.
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