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发布日期:2012-10-08 17:33 作者:lei yan 字号: 大 中 小 浏览次数::490 次 |
激光丝杆动态检查仪
激光丝杆动态检查仪是利用氦氖激光的光波波长为长度基准,以光栅盘为角度基准,采用脉冲比相法来测量丝杆螺旋线误差。
光栅盘装在与被测丝杆同~轴线的拨盘上,由马达带动光栅盘与丝杆同时回转。此时与丝杆螺旋面接触的测量头沿着轴向移动,为了保证测头沿着丝杆的同一螺旋线移动,用测量头使测头与丝杆的外圆柱保持固定不变的距离。测头与装有三面直角棱镜的弹簧框架固接,当光栅盘转角度时,带动三面直角棱镜沿轴向移动。
由氦氖激光器发出的光线经反射镜,投射到分光镜上,光束被分成二路,一路反射到参考三面直角棱镜上,另一路透射后经反射镜到达可动三面直角棱镜。两路光各自反射回来,在分光镜处汇合,产生干涉,当测头移动1/2时,干涉带移动一个条纹,干涉带的变化由光电管接收。为了辨别工作台的运动方向,两光电管所接收的干涉带有90度的相位差。
设丝杆螺旋线无误差时,光栅盘旋转一定的角度,则测头移动距离为理想值。由光栅盘和干涉系统发出的正弦信号经分频后,进行比相,保持一定的相位差。当丝杆螺旋线有误差时,测头移动的实际距离与理想值有偏差,则干涉带发生相位移,此信号与光栅发出的信号比较,产生相位变化,相位变化的大小,由相位计进行比相,然后输入记录器记录下来。
此仪器是动态连续测量,用绝对测量法获得丝杆螺旋线全误差曲线.可测一级丝杆。
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