线性模组精度误差分析

 线性模组精度误差分析其重点由速度、加速度变化、惯性力及振动等引起的, 由零部件制造误差和装配误差引起的机构位置误差。所谓机构位置误差是指: 实际机构与理想机构( 即运动规律绝对准确的机构) 的主动件在相同位置时, 实际机构与理想机构的从动件之间的位置偏差。

一、电机的传动精度误差，对步进电机来说, 主要是步距角差(超差或滞后) 和丢步等。这些主要是由于定子和转子冲片精度不高, 气隙不均匀以及电机性能不稳定等因素造成的。因为电机处于整个传动链的始端, 设计时可以根据误差传递理论,合理拟定传动系统及齿轮减速比来减少电机传动误差对线性模组 工作台移动精度的影响。改变螺距及齿轮减速比可调整工作台移动误差;电机制造及安装误差对 线性模组精度的影响也不能忽视, 尤其对由此而引起的电机振动, 应采取防止共振措施。

二、导轨副的刚度问题引起的，由于导轨付刚性不足, 受力后产生弹性变形, 使导轨运动轨迹偏移, 而影响产品加工精度。例如光刻机上, 在硅片与掩膜由对准到接触的运动过程中, 产生漂移的原因除了有对准误差之外, 导轨付刚性不足而引起变形也是重要的因素。

三、滚珠丝杠螺距误差  和轴向间隙的控制等。

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