线性模组

由精密滚珠丝杠、螺母及导轨付组成的双座标线性模组是一种用途广泛的典型机械设备。随着加工对象精度的不断提高, 对工作台的移动及定位精度要求日益增高。半导体集成电路由大规模向超大规模集成电路飞速发展, 电路图形日趋复杂, 线条宽度越来越细, 已进入亚微米领域。

线性模组精度分析的现状及其重点由速度、加速度变化、惯性力及振动等引起的, 机构动态误差的分析计算尚待进一步研究。故目前一般都侧重分析由零部件制造误差和装配误差引起的机构位置误差。所谓机构位置误差是指: 实际机构与理想机构( 即运动规律绝对准确的机构) 的主动件在相同位置时, 实际机构与理想机构的从动件之间的位置偏差以开环精密工作台为例, 其位置误差( 或称传动误差) 主要是由电机、齿轮机构、丝杆螺母副以及导轨付等各部件位置误差的综合结果。

影响线性模组精度的因素有：（1）电机的传动精度；（2）导轨付精度的因素很多, 除了尺寸误差、形状误差、位置误差和间隙等几何因素之外, 还有刚度、受力变形、振动、磨损、油膜以及爬行等物理因素。（3）丝杠螺距累积误差等。

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