晶圆芯片送料系统

晶圆芯片送料系统作为LED 贴片机的主要机构，其设计力求结构精密紧凑。晶圆的运动是在x-y 平面进行的光栅扫描式的运动(即按由左向右由上及下的顺序运动)，所以晶圆芯片供送系统的主要部件是x-y 工作台。

由LED 芯片贴片的过程可知，晶圆运动的步距为两个相邻芯片的距离: XY工作平台的行程则需大于晶圆自身的直径，这样才能保证晶圆上的每块LED 芯片均能移动到顶针上方被顶针顶起到吸头。晶圆直径的大小有：100、150 及200 mm。国内针对100 及150 mm硅片的半导体生产设备技术较成熟，使用量较大，而200 mm 的还处于试制阶段。

晶圆芯片送料系统机构的x-y 工作台必须能同时满足微移动和大行程的要求。因此，传动部件宜选用高精度的滚珠丝杆配合性能优秀的轴承，且要求装配后的传动性能优良，无反向间隙，摩擦阻尼小，运动惯量小;并能确保晶圆机构在启停突变的情况下无冲击、定位精确。

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