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发布日期:2013-03-14 23:43 作者:lei yan 字号: 大 中 小 浏览次数::1,790 次 |
固晶机滚珠丝杠
高精度的固晶机,支持的覆晶焊接工艺是目前最先进的半导体固晶工艺之一,该工艺对固晶精度要求极高,而且工艺复杂,尚无国产厂商能够提供工业化设备。目前该机的设计研发工作已经完成,设计固晶精度达到±15 μm。
固晶机关键技术:使用直驱系统提升固晶焊头的效率和定位精度。直驱系统是一种将电机和固晶机滚珠丝杠直接相连接,转换成直线或旋转运动机械机构,不需任何中间转换机构的传动装置。
固晶机滚珠丝杠优点是:①消除了传统传动中存在的反向间隙和摩擦力,系统响应更快,重复定位精度更高;②结构简单,使用寿命长且基本免维护,客户整体使用成本更低;③可以达到大于10g 的加速度,因此更适合需要快速启动和制动的场合。
晶片台机构:一般是x/y 工作台结构,上面承载一个圆环用来固定晶粒蓝膜。并能够通过图像采集和处理功能,逐一对准晶粒到吸取位置;传送结构。采用机械定位或视觉定位,能把支架或其他材料的每个加工点正确输送到加工位置,能够分配焊接固定胶水到焊接支架上或PCB 材料上,分为粘胶结构和直接点胶结构。
精度高品质半导体制造、LED 制造设备的高科技企业,目前采用的大多数固晶机丝杆由日本TOSOK滚珠丝杆总代理广州雷研精密传动设备有限公司提供
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