离子束刻蚀机滚珠丝杆

离子束刻蚀机是一种利用惰性气体离子束的定向运动轰击试件表面, 通过物理溅射使材料的原子层连续铣去, 将掩膜图形转移到光学基底上的加工工艺。离子束的准直性能和试件的高净洁真空环境使刻蚀图形具有高的各向异性、高的保真度和纳米量级的分辨率。因此, 离子束刻蚀已被广泛用于现代微电子器件制作工艺流程中, 是超精加工最有效的方法之一。

刻蚀机工作台是安装刻蚀试件的基准平台, 是试件扫描离子束进行持续动态刻蚀的载体, 它安装在两条滚动导轨上, 扫描运动以设置在真空室外面的伺服电机为动力源, 经1∶30 行星减速器细化步距, 再经两对1∶1 的螺旋伞齿轮传动轴, 穿过磁流体密封轴承, 将运动传给真空室内的离子束刻蚀机滚珠丝杆 , 从而带动装载试件的工作台沿导轨作往复运动。

在真空环境下的频繁运动要达到如此精度并非易事。正确定位工作台导向导轨和运动丝杆等精密构件的安装基准是满足上述要求的一个非常重要的因素。

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